无尘室内的临时存储库，可缩短工艺设备流程结束到下一工艺设备流程开始之间的时间差。
我们可提供一系列的存储解决方案以满足您的需要，例如用于存储载体（FOUP、FOSB、Cassette、Tray等）的存储库。
可根据客户需求，增加氮气功能

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