一种在高架轨道上运行的自动化运输系统，将物料从A站自动搬送到B站，从而保证平稳、高效的生产过程。 该系统可全自动对接STOCKER， LOAD PORT等，并通过皮带驱动的提升机构将其输送到生产线的下一阶段。
• 现代全自动晶圆厂宽提升传输系统
• 支持具有侧提升功能的下一代 FAB
• 与多种载体兼容（FOUP、FOSB、SMIF POD）

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