OHT 天轨运输系统
一种在高架轨道上运行的自动化运输系统,将物料从A站自动搬送到B站,从而保证平稳、高效的生产过程。 该系统可全自动对接STOCKER, LOAD PORT等,并通过皮带驱动的提升机构将其输送到生产线的下一阶段。• 现代全自动晶圆厂宽提升传输系统• 支持具有侧提升功能的下一代 FAB• 与多种载体兼容(FOUP、FOSB、SMIF POD)
全国服务热线:18605125678
微信咨询





扫一扫,关注抖音