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OCS 天车控制系统

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应用场景

用于半导体晶圆载具在各个工序中流转,确保晶圆在复杂的制造工艺中准确无误地进行加工,极小的控制误差,确保芯片良率和性能达到最佳。


核心技术

采用精确的三维空间位置控制技术;采用多线程分布式架构确保数据实时稳定;使用A*算法、Dijkstra算法或其他路径规划算法;使用微服务和中间件确保服务稳定不间断。


应用行业

应用于半导体行业硅片制造、晶圆制造、封测等。


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